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影响轮廓仪测量精度的一些因素分析

  • 来源:网络整理
  • 作者:法柯
  • 发布时间:2021-06-29 16:02:35

表面轮廓仪测量的位移量很小,准确度很高,通常工作台是防震的,即使是便携式轮廓仪,也一定要在无震条件下测量。
  试样制备质量对测量准确度影响很大,并影响仪器速度的设定。在覆层厚度测量中,制备台阶要求基体和台阶顶部不受损伤和腐蚀,而台阶底部应无任何覆层痕迹。通常可采用化学溶解和阳极溶解法来溶解要去掉部分的覆层,选用的溶解液应对基体不发生腐蚀。

轮廓仪

轮廓仪


  采用溶解法制备台阶,建议在1平方里面的正方形内除掉四个小徊面积内覆层。溶解覆层时,可在要溶解面积外的全部覆层加以屏蔽,只溶解要溶解的覆层而形成小圆坑。台阶也可通过在镀覆前遮蔽一部分,遮蔽部分的直径通常是约l一2mm,这样在镀覆过程中就会由于遮蔽部分镀覆不上而形成台阶。

  按照上述方法制备的试样,通过轮廓仪记录出两小圆坑间的轮廓曲线,取两圆坑台阶的中点,也就是曲线高度的中点,根据中点可以绘出曲线的中点曲线.然后对另两个小圆坑之间的轮廓r抽线也绘中点曲线.最后可将两轮廓曲线之一的上边缘和另一嗌钱下边缘叠置,取两中线之间的高度作为覆层的厚度。

表面轮廓仪是非常精密的测量仪器,对其校正和测量都应小心细致地进行。通常表面轮廓仪的校正可利用光干涉仪,也可以直接利用已知厚度的标准块来进行:表面轮廓仪测量的覆层厚度极薄,任何影响因素都可能带来较大的测量误差。因而,在测量过程中,对于温度的变化、测量台有无震动、试件基体的平滑租平直度、试件表面清洁度、台阶制备的完善性、仪器放大倍数的稳定性和设置、触针的压力、触针针尖大小和粗糙度之间的选,配、触针有无磨损等都应充分加以注意,以便能得到准确的测量结果。


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